装置的小型化 | 中国

为了无尘室内的装置更小型化

无法简单扩建的无尘室，从有效活用有限的空间观点上，所设置装置的小型化是必然需求。但是，即使装置可以小型化，所使用的各种配件的尺寸却成了瓶颈，很多情况下无法实现更小型化。例如，考虑安全性选择符合SEMI标准的配件，无论如何也未能找到合适的小型尺寸配件，必然产生空间浪费。 

半导体制造装置厂商中，应该有很多需要尽可能小型配件的需求。

薄型安全开关使设计的自由度更高

以下我们假设一个更具体的示例。 

长时间持续运转的半导体装置，四周设置了为确认加工状况以及保养维护用门，为确保开闭门时的安全性，门的内侧必须安装门互锁型开关。若该门互锁开关能够小型化，必然装置内的空间就能变大，就能容易设计更小型的装置。因没有小型化门互锁开关，一定还有很多厂家不得不放弃设计小型门的装置。

针对同样有上述设计课题的客户，爱德克推荐薄型安全开关“HS6E型”和“HS6B”型。 

这2种安全开关均可3方向安装，因此可应对设计方案自由安装。而且，还可以在5种执行元件中选择适合您需要的执行元件，因此可对应滑动门以及单开门等各种门。又符合SEMI标准，所以安全性能可得到充分保证。