提高半导体制造装置的设计自由度的方法 | 中国

历经多次改良的装置内部，已经没有多余的空间

半导体装置为了有效活用洁净室的有限空间，装置本身同时需要小型化以及多功能化，但是，对已经到达极限的装置再进行改良实在是万难之举。

装置内部不仅已经没有了多余空间，设计自由度也已变低。若从零开始重新对装置进行设计也许会得到解决，但为此必须投入相当大的精力和时间进行开发。

半导体制造商的设计工程师们，是否正面对这样的难题呢。

薄型接口继电器以及薄型安全开关创造设计自由度

为了提高装置的设计自由度，实现小型化以及多功能化，可以考虑“变更内部零件的配置位置，减少空间浪费”或“将既有零件更换为更小型的零件，创建多余空间”的2个方针，相比较而言更容易实现的应该是后者吧。 
爱德克为设计工程师准备了所期待的产品。特别推荐宽度仅6mm的薄型接口继电器“RV8H型”和用于门的联锁装置的薄型电磁式安全开关“HS6E型”。
“RV8H型”超薄机身却拥有6A的高触点允许电流，可对应高密度安装。若将既有继电器切换为“RV8H型”，即可实现削减约一半（自公司产品比较）的空间。 
而“HS6E型”不仅超薄且可3方向安装，因设置方向自由可有效活用空间
 

具备可用于不同用途，拥有功能齐全的小型产品

爱德克还准备了根据客户所需的性能各异的小型继电器以及门互锁开关。继电器有高触点允许电流的薄型功率继电器“RJ系列”，符合海外标准，且增强了安全性的强制导向式继电器“RF1V型”和“RF2型”。门互锁用途有非接触安全开关“HS7A-DMC型”。 
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