如何避免EMO开关破损而引发的损害 | 中国

因EMO开关破损而引发的大损害的风险

在半导体制造上最重要的课题就是，如何保持装置持续运转，使工厂处于高生产性状态。 
但是，因存在使用危险溶剂或药剂等的工艺，若因操作可停止装置动力的紧急停止开关来遮断电源供给，则可能产生瓦斯漏泄等二次危险状态。 
为此，半导体行业的安全标准SEMI规定必须设置EMO开关，EMO开关仅遮断会产生危险状态的负载部分，不遮断维持其他安全相关装置的运行。 
但是，传统的EMO开关的构造上存在，若遭受过度的冲击会损坏开关的可能，即使按下开关也不能遮断电路，无法阻止危险状态。 

半导体制造装置厂商中，应该有需要将风险降到最低，提高装置安全性的需求。

只确实遮断危险状态的电路。拥有高信赖度安全机构的爱德克的EMO开关

在紧急情况发生时，仅紧急遮断制造危险状态动作部分的电路，确实回避危险，关系到产品的信赖性。 

爱德克向为设计更安全装置的半导体制造装置厂商推荐第3代安全结构的EMO开关“XW系列”。XW系列配载“安全能量构造”和“安全断开动作”二个安全结构。即使因过度的外力或冲击使开关破损，或因安装不充分，使操作单元与触点单元分离，NC触点呈机械性开路（触点OFF），遮断产生危险状态动作位置的电路。 
为此，即使EMO开关发生动作故障也能确实进行紧急遮断，因此可以确实预防工厂损失的扩大。 

而且，XW系列的EMO开关还具备种类丰富的开关罩以及EMO标签。标准操作时预防非意图性动作的配件也很丰富